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SSB500系列步進投影光刻機自動調平空氣彈簧隔振器

SSB500系列空氣彈簧隔振器:為半導體制造保駕護航

在芯片制造的關鍵設備——步進投影光刻機上,任何微小的振動都有可能造成致命的誤差。SSB500系列空氣彈簧隔振器正是為此而生。

這款隔振器通過空氣彈簧提供恒定的支撐力,利用閉環控制系統實時監測和調整位置,確保光刻機始終處于理想工作狀態。它能在2秒內快速響應外部擾動,有效隔離10Hz以下的低頻振動,將隔振效率提升至95%以上。

SSB500系列隔振器采用了緊湊型設計,節省了寶貴的設備空間。其節能環保的特點也備受青睞。更重要的是,它能實時記錄振動數據,幫助用戶分析和優化設備運行狀態。

在半導體制造領域,SSB500系列隔振器正成為保障高精度制造的關鍵設備,推動行業向更高水平發展。

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