氣墊式減振器：托起掩模臺的操控精度

在微電子制造等精密加工領(lǐng)域，設(shè)備的穩(wěn)定性直接決定著產(chǎn)品的精度。掩模臺作為關(guān)鍵設(shè)備，其穩(wěn)定性和操控精度備受關(guān)注。

氣墊式減振器通過精密控制氣流，在設(shè)備與支撐面之間形成一層氣體墊，有效隔斷外部振動的傳遞。這種獨特的減振方式，能夠?qū)崿F(xiàn)六個自由度的精準調(diào)整，確保設(shè)備在高速運動過程中保持穩(wěn)定性。

六自由度操控系統(tǒng)能夠?qū)崟r感知并調(diào)整設(shè)備的平移和旋轉(zhuǎn)偏差，確保 Masks 的精準定位。承載力強、響應(yīng)速度快的特性，使設(shè)備在高頻振動環(huán)境下依然保持穩(wěn)定運行。

在實際應(yīng)用中，氣墊式減振器的無接觸式設(shè)計，避免了傳統(tǒng)減振器因機械接觸帶來的磨損問題，延長了設(shè)備使用壽命。其智能化的控制算法，能夠根據(jù)實際工況自動調(diào)節(jié)參數(shù)，確保最佳減振效果。

這種創(chuàng)新的減振方案，為微電子制造、光學(xué)儀器等領(lǐng)域提供了更精確、更穩(wěn)定的設(shè)備解決方案，推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展邁向更高水平。