在半導體制造領域，光刻機被譽為芯片制造的“心臟”，而掩模臺則是光刻機中的關鍵精密部件。掩模臺上承載著微米級的光刻圖案，其在高速運作過程中必須保持極高的穩定性和精度，任何細微的振動都可能導致產品質量下降或生產停工。為了滿足這一嚴苛要求，上海松夏減震器有限公司開發了“高速高精的自減振六自由度掩模臺氣動隔振系統”。

這一系統巧妙地結合氣動技術與主動減振算法，實現了對六個自由度（三個平移方向和三個旋轉方向）振動的有效抑制。通過實時監測外部振動信號，系統能立即計算并施加抵消力，從而在一個平滑、安靜的環境中保持掩模臺的穩定運行。

這項創新技術特別適合高精度制造環境，如微電子加工、精密光學裝配和高端儀器生產等。使用這種先進的氣動隔振系統，企業不僅顯著提高了生產效率和產品質量，還降低了維護成本，減少了停工時間。

自減振六自由度氣動隔振系統象征著精密制造技術的進步，是未來高端制造業不可或缺的一部分，為追求極致加工精度的企業提供了強大支持。