SSB500系列空氣彈簧隔振器：為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航

在芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備——步進(jìn)投影光刻機(jī)上，任何微小的振動(dòng)都有可能造成致命的誤差。SSB500系列空氣彈簧隔振器正是為此而生。

這款隔振器通過空氣彈簧提供恒定的支撐力，利用閉環(huán)控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)整位置，確保光刻機(jī)始終處于理想工作狀態(tài)。它能在2秒內(nèi)快速響應(yīng)外部擾動(dòng)，有效隔離10Hz以下的低頻振動(dòng)，將隔振效率提升至95%以上。

SSB500系列隔振器采用了緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)省了寶貴的設(shè)備空間。其節(jié)能環(huán)保的特點(diǎn)也備受青睞。更重要的是，它能實(shí)時(shí)記錄振動(dòng)數(shù)據(jù)，幫助用戶分析和優(yōu)化設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，SSB500系列隔振器正成為保障高精度制造的關(guān)鍵設(shè)備，推動(dòng)行業(yè)向更高水平發(fā)展。