氣墊式減振器：托起掩模臺的操控精度

在微電子制造等精密加工領域，設備的穩定性直接決定著產品的精度。掩模臺作為關鍵設備，其穩定性和操控精度備受關注。

氣墊式減振器通過精密控制氣流，在設備與支撐面之間形成一層氣體墊，有效隔斷外部振動的傳遞。這種獨特的減振方式，能夠實現六個自由度的精準調整，確保設備在高速運動過程中保持穩定性。

六自由度操控系統能夠實時感知并調整設備的平移和旋轉偏差，確保 Masks 的精準定位。承載力強、響應速度快的特性，使設備在高頻振動環境下依然保持穩定運行。

在實際應用中，氣墊式減振器的無接觸式設計，避免了傳統減振器因機械接觸帶來的磨損問題，延長了設備使用壽命。其智能化的控制算法，能夠根據實際工況自動調節參數，確保最佳減振效果。

這種創新的減振方案，為微電子制造、光學儀器等領域提供了更精確、更穩定的設備解決方案，推動相關產業發展邁向更高水平。