高速高精的自減振六自由度掩模臺(tái)空氣彈簧

在半導(dǎo)體制造和精密儀器領(lǐng)域，”高速高精的自減振六自由度掩模臺(tái)空氣彈簧”是一項(xiàng)革命性技術(shù)，它為超精密設(shè)備提供了性能卓越的隔振與定位解決方案。

這一創(chuàng)新采用氣浮隔振技術(shù)，通過空氣彈簧實(shí)現(xiàn)六個(gè)自由度的高精度控制。相比傳統(tǒng)機(jī)械彈簧，空氣彈簧具有響應(yīng)速度快、頻帶寬的特點(diǎn)，能實(shí)現(xiàn)亞微米級的位移控制。濾波閥的設(shè)計(jì)使系統(tǒng)具有優(yōu)異的隔振性能，可有效隔離外部振動(dòng)干擾。

該技術(shù)突破性地將隔振與定位功能集成于一體，實(shí)現(xiàn)了高動(dòng)態(tài)響應(yīng)下的精確控制。無摩擦的氣浮特性延長了設(shè)備壽命，模塊化設(shè)計(jì)提高了系統(tǒng)可靠性。這些優(yōu)勢使其成為滿足高端制造需求的首選解決方案。

隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，這種自減振空氣彈簧將在更多精密儀器應(yīng)用中發(fā)揮關(guān)鍵作用，助力精密制造邁向更高水平。它為實(shí)現(xiàn)”中國制造2025″目標(biāo)提供了重要技術(shù)支撐。